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Instituto de Física
 
Disciplinas Interdepartamentais do Instituto de Física
 
Disciplina: 4300323 - Ciência e Tecnologia do Vácuo
Science and Vacuum Technology

Créditos Aula: 6
Créditos Trabalho: 0
Carga Horária Total: 90 h
Tipo: Semestral
Ativação: 01/01/2016 Desativação:

Objetivos
Nesta disciplina, são revistos os conceitos básicos da teoria cinética dos gases, necessários para o estudo de ambientes em pressões baixas. São introduzidos os conceitos de velocidade de bombeamento, escoamento de gases nos regimes: molecular, viscoso e intermediário, bem como o conceito e as técnicas de calculo de condutâncias para o projeto de sistemas de vácuo. São apresentados e discutidos vários sistemas de vácuo, medidores de pressão, bombas de vácuo, vazamentos reais e virtuais, materiais e fontes de gases associadas com seus respectivos modelos, tais como: gás do volume, desorpção térmica, difusão, permeação, vaporização, etc. As aulas teóricas são complementadas através da realização de experimentos específicos, vitais para a interação dos estudantes com sistemas de vácuo, bem como para o aprendizado de tomada de atitudes durante 0 processo de escoamento de gases nos diferentes regimes. As atividades praticas serão divididas em quatro conjuntos de experimentos. No primeiro conjunto, serão estudados medidores de pressão para pré-vácuo e alto-vácuo. Nos dois conjuntos seguintes, serão realizadas medições de velocidade de bombeamento em pré-vácuo e em alto-vácuo e medidas de condutâncias de tubos. Nesse ciclo de experimentos são estudados também sistemas com vazamentos reais e virtuais. Durante os experimentos os estudantes deverão verificar os modelos teóricos e determinar as condutâncias com vazamentos real e virtual. No quarto conjunto, serão apresentadas técnicas de fabricação de filmes finos em vácuo e a detecção de vazamentos reais e virtuais como auxilio de detectores de vazamentos.
 
 
 
Docente(s) Responsável(eis)
2086125 - Jose Roberto Brandao de Oliveira
61152 - Nemitala Added
2104097 - Nilberto Heder Medina
 
Programa Resumido
 
 
 
 
Programa
Conceitos da teoria cinética dos gases necessários para estudo de vácuo. Conceitos de velocidade de bombeamento, condutância, escoamento de gases. Vazamentos reais e virtuais. Sistema de vácuo: bombas de vácuo, medidores de pressão. Medidas de velocidade de bombeamento e condutâncias. Detecção de vazamento. Filmes finos. Espectrômetro de massa. Bombas iônicas. Cálculo de sistemas de vácuo.
 
 
 
Avaliação
     
Método
Aulas expositivas, seminários e aulas práticas em laboratório.
Critério
Provas, seminários e exercícios a critério do professor.
Norma de Recuperação
com 2a avaliação.
 
Bibliografia
     
1.	D.M. Hata, Introduction to Vacuum Technology, Prentice Hall, 2007
2. J.F. O’Hanlon, A user's guide to vacuum technology, John Willey & Sons, 2003.
3. A. Roth, Vacuum Technology, North-Holland, 1990.
4. N.S. Harris, Modern Vacuum Practice, McGraw-Hill, 1989.
5. S. Dushman & J. M. Laffert, Scientific Foundations of Vacuum Techniques, John Wiley &
6. Sons, 1966.
7. A. Guthrie, Vacuum Technology, John Wiley & Sons, 1965.
8. G. Lewin, Fundamentals of Vacuum Science and Tecnology, McGraw-Hill, 1965.
 

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