Nesta disciplina, são revistos os conceitos básicos da teoria cinética dos gases, necessários para o estudo de ambientes em pressões baixas. São introduzidos os conceitos de velocidade de bombeamento, escoamento de gases nos regimes: molecular, viscoso e intermediário, bem como o conceito e as técnicas de calculo de condutâncias para o projeto de sistemas de vácuo. São apresentados e discutidos vários sistemas de vácuo, medidores de pressão, bombas de vácuo, vazamentos reais e virtuais, materiais e fontes de gases associadas com seus respectivos modelos, tais como: gás do volume, desorpção térmica, difusão, permeação, vaporização, etc. As aulas teóricas são complementadas através da realização de experimentos específicos, vitais para a interação dos estudantes com sistemas de vácuo, bem como para o aprendizado de tomada de atitudes durante 0 processo de escoamento de gases nos diferentes regimes. As atividades praticas serão divididas em quatro conjuntos de experimentos. No primeiro conjunto, serão estudados medidores de pressão para pré-vácuo e alto-vácuo. Nos dois conjuntos seguintes, serão realizadas medições de velocidade de bombeamento em pré-vácuo e em alto-vácuo e medidas de condutâncias de tubos. Nesse ciclo de experimentos são estudados também sistemas com vazamentos reais e virtuais. Durante os experimentos os estudantes deverão verificar os modelos teóricos e determinar as condutâncias com vazamentos real e virtual. No quarto conjunto, serão apresentadas técnicas de fabricação de filmes finos em vácuo e a detecção de vazamentos reais e virtuais como auxilio de detectores de vazamentos.

Conceitos da teoria cinética dos gases necessários para estudo de vácuo. Conceitos de velocidade de bombeamento, condutância, escoamento de gases. Vazamentos reais e virtuais. Sistema de vácuo: bombas de vácuo, medidores de pressão. Medidas de velocidade de bombeamento e condutâncias. Detecção de vazamento. Filmes finos. Espectrômetro de massa. Bombas iônicas. Cálculo de sistemas de vácuo.